Об Ангстрем / Решения / Сенсорная микроэлектроника

Сенсорная микроэлектроника

Приборы микромеханики и МЭМС разрабатывались группой «Ангстрем» с 2003 года в два этапа - создание гибридных приборов и интегральных МЭМС.

На первом этапе «Ангстрем» работал в тесном сотрудничестве с ОАО "МНПК "Темп-Авиа"" над созданием гибридных МЭМС: микрогироскопов и микроакселерометров. «Ангстрем» разработал и поставляет партнеру два типа БИС управления приборами, а МНПК "Темп-Авиа" разработал и изготавливал миниатюрные механические датчики и микрогироскопы и микроакселерометры в целом. (Пример гибридного микроакселерометра, управляемого БИС 5511ХТ1АУН4-005 «Ангстрема». Параллельно «Ангстрем» разрабатывал конструкции и технологии создания микромеханических устройств.

На втором этапе решалась задача создания интегральных МЭМС, в которых и микромеханические датчики (акселерометров, гироскопов, датчиков давления и т.п.) и БиКМОП микроэлектронные устройства преобразователей и управления изготавливаются на одном кристалле кремния в едином технологическом цикле (iМЭМС технология).

Группой «Ангстрем» разработана базовая технология поверхностной микрообработки структурного поликремния и окисного жертвенного слоя, которая достаточно хорошо встраивается в БиКМОП процесс по схеме интеграции "МЭМС внутри БиКМОП". Отработан также и метод капсулирования свободно висящих микромеханических структур для защиты их от внешних механических воздействий. На этой основе получены первые экспериментальные образцы микросхем двухосевых однокристальных микроакселерометров.

Уже первые полученные образцы микроакселерометров «Ангстрема» по основным параметрам (чувствительность, линейность, потребляемая мощность и др.) соответствуют или близки к аналогичным зарубежным приборам.